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高精度全自动影像量测系统NEXIV VMR系列
产品介绍:

CNC视频图象坐标测量仪NEXIV 系列

拥有多款量程的全自动非接触式三维坐标测量系统。它测量速度快、精度高,擅长测取接触式量仪所无法测量的各种零部件尺寸,尤其适用于工件的批量检测以及生产工序的质量分析控制。 8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组,可以在各段(倍率)间进行自由切换,以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。

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多种多样的照明手段,使各种零部件的边界都能清晰地显示,确保工件边界可被自动检出;

3 个型号(1、2、3 型)各自有 5 级放大倍率,可满足不同视场及倍率要求;

较长的工作距离(50 毫米),可满足测量对工件高度方向的空间需求;

高达15 倍的变焦比,可以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。与无级变焦机构相比,采用5段、定倍自动变焦机构可以使测量更加快速、准确;

高速、高精度 TTL 激光自动对焦功能,不仅可以测量高度,还可以进行激光自动扫描,对工件的截面形状以及三维表面轮廓形状进行自动扫描测量。

应用领域:
半导体封装、印刷电路板、冲压件、连接器、注塑件及各种小零件,如钟表元件等。

 

 

 

Z120X 型(带高倍头)

光学放大倍数最高可达120X,能够测量微距线宽;

高精度 TTL 激光自动对焦装置,具有激光光束细、光斑小的特点,支持精细激光扫描测量;

特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量;

可选配表面形貌分析软件(Bird's-Eye View),用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。

应用领域:
高密度印刷电路板、掩模板、半导体封装(二维+高度)、MEMS部件等。

 

 

 

   CCD   

 锡球  

 焊接引线激光扫描


                                      
                                                焊接引线截面分析

LU 型(通用反射照明器 / 电动物镜转换器)

光学头采用尼康著名的CFI60光学系统,可以使用尼康 CFI60 LU 全系列显微物镜;

具有明场、暗场、DIC、简易偏光等显微观察方式;

配备电动通用五孔物镜转换器;

可装备带有玻片厚度修正功能的、专门用于液晶板观测的尼康CF IC LCD Plan CR系列物镜;

易于使用的软件,可控制系统所有功能。

应用领域:
小型液晶显示器,有机EL面板,直径在200毫米以内的硅片等。
                                  
                                                          IC

机器型号:

型   号

VMR1515

VMR3020

VMR6555

VMR10080

VMR12072

载物台行程XYZ(mm)

150 x 150 x 150

300 x 200 x 150

650 x 550 x 150

1000 x800 x 150

1200 x 720 x 150

X/Y轴精度(um)

1.5+4L/1000

1.5+4L/1000

1.5+4L/1000

1.5+4L/1000

1.5+4L/1000

Z轴精度(um)

1.5+L/150

1.5+L/150

1.5+L/150

1.5+L/150

1.5+L/150

 

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